【摘 要】
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使用等温蒸发工艺开发了光子晶体的可控垂直沉积(CVD)技术,初步探索了光子晶体的结晶机制.使用可控垂直沉积技术将294 nm和345 nm的PMMA微球组生长成光子晶体.试样的扫描电镜
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使用等温蒸发工艺开发了光子晶体的可控垂直沉积(CVD)技术,初步探索了光子晶体的结晶机制.使用可控垂直沉积技术将294 nm和345 nm的PMMA微球组生长成光子晶体.试样的扫描电镜研究结果表明,晶体结构微球排列有序度高,完美有序区范围在20μm以上,晶体表面层平整完美,在3μm×5μm的有序区内仅有2个点缺陷.
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