电场调制效应对氧化层电流弛豫谱的影响

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tj_tong

【摘要】

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本文用单陷阱电荷俘获模型研究了电场调制效应对氧化层电流弛豫谱(Oxide CurtentRelaxation Spectroscopy)——简称 OCRS的影响.给出了精确的 OCRS谱函数及其各级近似表述式;

【作者】

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许铭真谭长华刘晓卫王阳元

【机构】

：

北京大学计算机科学技术系,北京大学计算机科学技术系北京100871,北京100871,北京100871

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1991年5期

【关键词】

：

电场调制效应氧化层电流驰豫谱

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本文用单陷阱电荷俘获模型研究了电场调制效应对氧化层电流弛豫谱(Oxide CurtentRelaxation Spectroscopy)——简称 OCRS的影响.给出了精确的 OCRS谱函数及其各级近似表述式;给出了确定陷阱参数(俘获截面,荷心及面密度)的精确公式及各类简化式;给出了各类近似成立的直观实验判据式.对实验结果进行了电场修正,得到了更为满意的结果.

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