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本文首先分析了热驱动微执行器的基本及其相对于静电驱动，磁驱动的优势。接着分析了五种常见的热驱动结构的原理，特点，它们的某些典型应用也随后作了介绍，最后对热驱动微执行器计算机辅助设计的前景进行了展望。
基于热膨胀效应的微执行器进展
【摘 要】
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本文首先分析了热驱动微执行器的基本及其相对于静电驱动，磁驱动的优势。接着分析了五种常见的热驱动结构的原理，特点，它们的某些典型应用也随后作了介绍，最后对热驱动微执行器计
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1999年3期
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