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摘要：环境影响评价是基本建设前期工作中环境管理的重要内容，为贯彻《中华人民共和国环境保护法》（试行），我公司结合企业的实际情况，对环境影响评价的作用、对象、内容、程序、审批等作了较详细的规定，在实行中取得了积极的效果，改善了冶金企业的环境面貌。环境影响评价是我国近年来开展的一项新的环境工作。它的作用是加强建设项目的环境保护，确保环境工程与主体工程同时设计、同时施工、同时投产的“三同时”制度的实施.
关键词： 环境影响评价； 环境影响报告书； 环境标准； 评价单位； 环保措施； 环境管理
一.环境概况
1.地理位置
厂址位于广州经济技术开发区征地面积240030m2，其中41号地块面积136754m2、
2.环境质量
本项目对芯片加工类的特征空气污染物、地下水特征污染物和土壤特征污染物进行了监测。环境空气监测了氟化物、氯化氢、氨气、氯气、硫酸雾、非甲烷总烃共6项；地下水环境监测，W、B共2项；土壤监测了砷（As）、硼（B）、氟（F）和钨（W）共4项。通过监测结果可以看出环境本底较好，没有超标的污染项。
二.工程分析
（一）工艺流程
1.工艺技术方案的确定
本项目的技术发展和集成电路制造的重点将以互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺为主。芯片生产工序主要有外购硅片清洗、光刻、蚀刻、扩散、离子植入、化学气相沉积、金属化、后加工等九部分。
2.生产流程及排污节点分析
（二）工程污染源分析
本次环境影响评价工程污染源分析的原则和依据是建设单位提交的初步设计，经评价单位进行物料衡算、类比调查与监测得㈩的情况.
1.大气污染源分析
（1）酸性废气酸性废气主要来自于扩散区、离子植入区、薄膜区、化学研磨区及光罩制作区，包括含氟废气、盐酸、硫酸、硝酸、磷酸、硅烷（SiHd）、磷烷（阳，）、砷烷（AsH，）等所排出之废气。
（2）碱性气体碱性气体主要来自扩散区、薄膜区及化学研磨区产生之含氨废气排放。
（3）有机废气有机废气主要来自于光刻区、扩散区的光阻剂及清洗用之异丙醇等有机溶剂废气。
2.水污染源分析
本项目水污染源主要包括生产废水和生活污水。
根据本项目的生产工艺和废水水质特征，在生产过程中产生的废水主要可分为含氟废水、研磨废水（分为金属研磨废水、氧化研磨废水、晶背研磨废水）、酸碱废水（包括工艺酸碱废水、洗涤塔废水、纯水系统再生废水）和含氨废水。
3.噪声污染源
本项目噪声源污染状况可分为两个部分：一个为生产厂房（FAB4/FAB5/FAB6C）噪声污染源；另一个为动力设施（变电站PS2、动力站CUB2）及其他辅助设施产生的噪声污染源。
（三）平衡分析
1.水平衡
水平衡。每天实际耗水量为206 884m3/d，其中新鲜水（自来水）量为4500m3/d，废水回用量为3424m3/d，循环水量为198960m3/d。
2.物料平衡
本项目在生产过程中使用多种原料，对拟建项目所涉及的主要物料流失在废水、废气及固体废物和回收废液中情况进行分析。
3.氟平衡
拟建项目氟的投加以无机氟和有机氟原料进入生产线，根据使用含氟原料中氟的含量计算氟的投加量，其中无机氟87 956.62kg/a、有机氟17 315.9kg/a。
三、环境影响预测
（一）评价因子的确定
根据项目所在地区的环境特征和保护目标敏感程度，并参照筛选结果，选定下列因子作为评价因子：
1.大气预测因子
氟化物（HF）、HCl、硫酸雾、C12、NH，、非甲烷总烃和NO。共7项。
2.水评价因子
pH、CODc～、BOD5、SS、F-、NH3--N、TOC牙口AOX共8项。
3.固体废物评价因子
水处理污泥、生产过程中产生的废溶剂、废酸、废异丙醇等物质以及生活垃圾等
4.土壤评价因子
砷（As）、硼（B）、氟（F）和钨（W）共4项。
（二）大气环境影响预测与评价
1.达标分析
根据本工程主要污染物非甲烷总烃计算，在风速为1.5m/s，D稳定度下，当烟囱排气筒高度为35.8m时，非甲烷总烃最大落地浓度为4.3 612gg/m3，满足参考标准（以色列国家标准总烃的环境标准限值）5.0mg/m3的要求。
（三）水环境影响预测
1.水污染源环境影响预测
本项目各个生产工艺废水处理单元设施排水量合计为3 047m3/d：生产辅助设施（冷却塔循环废水）排水量为434m3/d；生活污水为185m3/d。全厂废水总放量为（一期），于2002年初建成投入运行，目前实际日平均污水处理量约1.6万t，尚有了定的富裕处理能力。
2.环境风险分析
环境风险分析是编制生产或使用大量化学品项目环境影响报告书的重要组成部分环境风险事故虽然发生的几率极小，但其危害极大，对环境造成的污染，对国家财产和人民生命财产造成的损失相当严重。
3.工程环保措施综合评价
本工程所采用的环保措施是比较先进的，也是合理、可行的，废气、废水、噪声污染控制措施及固体废物（废液）处置方案实用、有效。本工程主要污染物排放符合有关环保排放标准。从整体来说，工程治理措施水平是目前同行业中的领先水平。本次环境影响评价提出建设单位要在各个污染物固定排口（废气、废水）安装污染物在线监测系统，一方面和厂中心控制室联接，连续记录和监测排放口的浓度、流量、环保设施的运行情况。
四、环境保护措施分析
该工程采用的环保措施基本可行，可使废气、废水污染物满足达标排放要求，固体废物和废液处置方案也符合一般废物和危险废物污染控制标准要求。
此类项目废气和废水中的污染物成分复杂、特殊，环保治理措施必须注意收集所有污染物，有针对性处理，而且应进行环保措施的技术经济论证，并按环保设施逐项明确投资，说明环境经济效益。
五、环境可行性分析
1.芯片项目用水量大，在水资源相对紧张地区发展该类项目需慎重。另一方面达标排放的废水中污染物浓度不高，虽回用于用水水质要求高的芯片生产比较困难，但可用于对水质要求不是很高的行业，例如冶金、机械制造等。作为生产用水，从区域角度实现节约用水足可行的。
参考文献
[1] 陈俊善，李斌. 环境影响评价存在的问题与对策[J]. 黑龙江环境通报. 2002（04）
[2] 尹士武. 在大气环境影响评价中关于标准应用问题的思考[J]. 石油化工环境保护. 2002（04）
关键词： 环境影响评价； 环境影响报告书； 环境标准； 评价单位； 环保措施； 环境管理
一.环境概况
1.地理位置
厂址位于广州经济技术开发区征地面积240030m2，其中41号地块面积136754m2、
2.环境质量
本项目对芯片加工类的特征空气污染物、地下水特征污染物和土壤特征污染物进行了监测。环境空气监测了氟化物、氯化氢、氨气、氯气、硫酸雾、非甲烷总烃共6项；地下水环境监测，W、B共2项；土壤监测了砷（As）、硼（B）、氟（F）和钨（W）共4项。通过监测结果可以看出环境本底较好，没有超标的污染项。
二.工程分析
（一）工艺流程
1.工艺技术方案的确定
本项目的技术发展和集成电路制造的重点将以互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺为主。芯片生产工序主要有外购硅片清洗、光刻、蚀刻、扩散、离子植入、化学气相沉积、金属化、后加工等九部分。
2.生产流程及排污节点分析
（二）工程污染源分析
本次环境影响评价工程污染源分析的原则和依据是建设单位提交的初步设计，经评价单位进行物料衡算、类比调查与监测得㈩的情况.
1.大气污染源分析
（1）酸性废气酸性废气主要来自于扩散区、离子植入区、薄膜区、化学研磨区及光罩制作区，包括含氟废气、盐酸、硫酸、硝酸、磷酸、硅烷（SiHd）、磷烷（阳，）、砷烷（AsH，）等所排出之废气。
（2）碱性气体碱性气体主要来自扩散区、薄膜区及化学研磨区产生之含氨废气排放。
（3）有机废气有机废气主要来自于光刻区、扩散区的光阻剂及清洗用之异丙醇等有机溶剂废气。
2.水污染源分析
本项目水污染源主要包括生产废水和生活污水。
根据本项目的生产工艺和废水水质特征，在生产过程中产生的废水主要可分为含氟废水、研磨废水（分为金属研磨废水、氧化研磨废水、晶背研磨废水）、酸碱废水（包括工艺酸碱废水、洗涤塔废水、纯水系统再生废水）和含氨废水。
3.噪声污染源
本项目噪声源污染状况可分为两个部分：一个为生产厂房（FAB4/FAB5/FAB6C）噪声污染源；另一个为动力设施（变电站PS2、动力站CUB2）及其他辅助设施产生的噪声污染源。
（三）平衡分析
1.水平衡
水平衡。每天实际耗水量为206 884m3/d，其中新鲜水（自来水）量为4500m3/d，废水回用量为3424m3/d，循环水量为198960m3/d。
2.物料平衡
本项目在生产过程中使用多种原料，对拟建项目所涉及的主要物料流失在废水、废气及固体废物和回收废液中情况进行分析。
3.氟平衡
拟建项目氟的投加以无机氟和有机氟原料进入生产线，根据使用含氟原料中氟的含量计算氟的投加量，其中无机氟87 956.62kg/a、有机氟17 315.9kg/a。
三、环境影响预测
（一）评价因子的确定
根据项目所在地区的环境特征和保护目标敏感程度，并参照筛选结果，选定下列因子作为评价因子：
1.大气预测因子
氟化物（HF）、HCl、硫酸雾、C12、NH，、非甲烷总烃和NO。共7项。
2.水评价因子
pH、CODc～、BOD5、SS、F-、NH3--N、TOC牙口AOX共8项。
3.固体废物评价因子
水处理污泥、生产过程中产生的废溶剂、废酸、废异丙醇等物质以及生活垃圾等
4.土壤评价因子
砷（As）、硼（B）、氟（F）和钨（W）共4项。
（二）大气环境影响预测与评价
1.达标分析
根据本工程主要污染物非甲烷总烃计算，在风速为1.5m/s，D稳定度下，当烟囱排气筒高度为35.8m时，非甲烷总烃最大落地浓度为4.3 612gg/m3，满足参考标准（以色列国家标准总烃的环境标准限值）5.0mg/m3的要求。
（三）水环境影响预测
1.水污染源环境影响预测
本项目各个生产工艺废水处理单元设施排水量合计为3 047m3/d：生产辅助设施（冷却塔循环废水）排水量为434m3/d；生活污水为185m3/d。全厂废水总放量为（一期），于2002年初建成投入运行，目前实际日平均污水处理量约1.6万t，尚有了定的富裕处理能力。
2.环境风险分析
环境风险分析是编制生产或使用大量化学品项目环境影响报告书的重要组成部分环境风险事故虽然发生的几率极小，但其危害极大，对环境造成的污染，对国家财产和人民生命财产造成的损失相当严重。
3.工程环保措施综合评价
本工程所采用的环保措施是比较先进的，也是合理、可行的，废气、废水、噪声污染控制措施及固体废物（废液）处置方案实用、有效。本工程主要污染物排放符合有关环保排放标准。从整体来说，工程治理措施水平是目前同行业中的领先水平。本次环境影响评价提出建设单位要在各个污染物固定排口（废气、废水）安装污染物在线监测系统，一方面和厂中心控制室联接，连续记录和监测排放口的浓度、流量、环保设施的运行情况。
四、环境保护措施分析
该工程采用的环保措施基本可行，可使废气、废水污染物满足达标排放要求，固体废物和废液处置方案也符合一般废物和危险废物污染控制标准要求。
此类项目废气和废水中的污染物成分复杂、特殊，环保治理措施必须注意收集所有污染物，有针对性处理，而且应进行环保措施的技术经济论证，并按环保设施逐项明确投资，说明环境经济效益。
五、环境可行性分析
1.芯片项目用水量大，在水资源相对紧张地区发展该类项目需慎重。另一方面达标排放的废水中污染物浓度不高，虽回用于用水水质要求高的芯片生产比较困难，但可用于对水质要求不是很高的行业，例如冶金、机械制造等。作为生产用水，从区域角度实现节约用水足可行的。
参考文献
[1] 陈俊善，李斌. 环境影响评价存在的问题与对策[J]. 黑龙江环境通报. 2002（04）
[2] 尹士武. 在大气环境影响评价中关于标准应用问题的思考[J]. 石油化工环境保护. 2002（04）