纳米Si薄膜生长及其Monte-Carlo模拟

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：booksky

【摘要】

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【作者】

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Hafiz Shehzad Ahmed 赵红东韩铁成

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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硅(Si) 纳米材料薄膜生长脉冲激光沉积(PLD) Monte-Carlo模拟

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