【摘 要】
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本文叙述了硅与玻璃阳极键合实验过程,对其结合面进行了扫描电镜(SEM)和能谱分析表明离子迁移和阳极氧化是实现键合的关键,其结合机理为电化学反应。
In this paper, the ex
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本文叙述了硅与玻璃阳极键合实验过程,对其结合面进行了扫描电镜(SEM)和能谱分析表明离子迁移和阳极氧化是实现键合的关键,其结合机理为电化学反应。
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