等离子体基低能离子注入的光谱诊断

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采用发射光谱(OES)技术系统地研究了电子回旋共振(ECR)微波等离子体基低能离子注入的等离子体特性。结果表明:纯氮气形成的等离子体中的活性粒子主要是N2和N+2,等离子体中电子与气体分子碰撞使N2产生激发和电离,而使N2离解的作用很小;氮氩混合气形成的等离子体中,随着氩气分压的增加,N2和N+2的浓度降低,同时氩气对氮分子离解的贡献很小;直接施加于试样的脉冲负偏压对等离子体特性没有明显影响,但存在着一定的溅射作用。
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