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,Electron Trap Energy Distribution in HfO2 by the Discharge-Based Pulse Ⅰ-Ⅴ Technique
【机 构】
：
School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an 710071“,”Key Laboratory of Wide Bandgap Semicon
【出 处】
：
中国物理快报（英文版）
【发表日期】
：
2014年12期
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