论文部分内容阅读
本文介绍了一种在生产和科研上都有广泛应用的精密定位系统．分析了该定位系统的工作原理、为达到实用化而采取的具体装置和应用领域，并对提高定位分辨率的方法和零位的选取作了阐述．该系统的定位分辨率为微米量级，定位范围可达１米甚至更长，并可实现对被定位物体坐标的实时、数字显示，因此在精密激光加工、激光扫描制版，激光检测等许多领域都有重要的应用．