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期刊论文
基于硫化物系的湿敏元件的研究
基于硫化物系的湿敏元件的研究
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhbcaq
【摘 要】
:
研究了Zn、Cd、Sb等系列硫化物薄膜湿敏元件的感湿特性,发现金属硫化物元件具有较好的湿敏特性和稳定性,对元件的频率特性、湿滞特性、响应-恢复时间、阻抗、以及稳定性进行了
【作 者】
:
赵志勇
张彤
任辉
徐宝琨
徐娓
陈宏起
全宝富
【机 构】
:
吉林大学电子工程系,吉林大学生物资源学院,吉林大学化学系
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
硫化物
湿敏元件
阻抗
化学传感器
sulfide
humidity sensors
impedance
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研究了Zn、Cd、Sb等系列硫化物薄膜湿敏元件的感湿特性,发现金属硫化物元件具有较好的湿敏特性和稳定性,对元件的频率特性、湿滞特性、响应-恢复时间、阻抗、以及稳定性进行了测试,并对其敏感机理进行了探讨。
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