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采用脉冲磁控反应溅射工艺进行氧化铝薄膜的沉积实验，对该工艺过程中溅射电压和沉积速率与氧流量的“迟滞回线”现象进行了研究。通过给出靶面刻蚀区氧化层厚度与氧分压之间的关系，解释了薄膜沉积速率变化的原因。
铝靶脉冲反应溅射沉积氧化铝薄膜中的迟滞回线的研究
【摘 要】
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采用脉冲磁控反应溅射工艺进行氧化铝薄膜的沉积实验，对该工艺过程中溅射电压和沉积速率与氧流量的“迟滞回线”现象进行了研究。通过给出靶面刻蚀区氧化层厚度与氧分压之间的
【机 构】
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东南大学薄膜研究所
【出 处】
：
真空科学与技术
【发表日期】
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2000年2期
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