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正从实验室走出的MEMS
正从实验室走出的MEMS
来源 :今日电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mhouwen
【摘 要】
:
微机电系统(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)是一种集成微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件,实现感应和控制物理环境的芯片级设备.
【作 者】
:
Peter Laitenberger
【机 构】
:
GenericsGroup公司
【出 处】
:
今日电子
【发表日期】
:
2003年6期
【关键词】
:
MEMS
微机电系统
血内气体分析
微机械硅传感技术
微粒子生化分析
体育仪器
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微机电系统(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)是一种集成微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件,实现感应和控制物理环境的芯片级设备.
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