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SHRIMP Ⅱe MC被广泛应用于锆石、磷灰石、碳酸钙等副矿物的氧同位素分析.本工作针对其氧同位素分析过程中的边缘效应及几何效应(X-Y效应),建立二次离子提取结构的SIMION仿真模型,探讨了X-Y效应、边缘效应的产生原因及影响因素,为SHRIMP Ⅱe MC高精度氧同位素分析提供指导.通过限制氧同位素分析点位置(样品位于靶中间直径10 mm内,靶表面粗糙度<1m),可使锆石δ18O单点内部精度优于0.15%(1σ),外部精度优于0.5%(95%的置信区);碳酸盐矿物δ18O单点内部精度优于0.20%(1σ-),外部精度优于0.6%(95%的置信区).