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东电电子（TEL）一举投产了5款用于三维封装的TSV（硅通孔，throughsiliconvia）制造装置，并在12月7-9日召开的“SEMICON Japan 2011”上展示。
东电电子一举投放5款三维TSV装置
【摘 要】
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东电电子（TEL）一举投产了5款用于三维封装的TSV（硅通孔，throughsiliconvia）制造装置，并在12月7-9日召开的“SEMICON Japan 2011”上展示。
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2012年1期
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