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用气相法成功地研制出了 SnO_2超微粒子气敏膜。研究了0.03乇到0.1乇范围内不同氧分压下制得的超微粒子薄膜的酒敏特性和湿敏特性与成膜工艺、工作温度等关系。
半导体超微粒子气敏膜的研究
【摘 要】
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用气相法成功地研制出了 SnO_2超微粒子气敏膜。研究了0.03乇到0.1乇范围内不同氧分压下制得的超微粒子薄膜的酒敏特性和湿敏特性与成膜工艺、工作温度等关系。
【机 构】
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电子科技大学微电子科学与工程系,电子科技大学微电子科学与工程系
【出 处】
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电子科技大学学报
【发表日期】
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1990年4期
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