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对无规则CNT进行控制，标志着晶圆级生长、转移和集成工序正使纳米管电路走向商业化。世界一流半导体和相关技术的大学与研究机构的联盟半导体研究公司与斯坦福大学的研究人员联合论证了CNT生产晶圆级CMOS兼容功能电路。CNTFET被认为是很有竞争力的，可利用目前的CMOS技术制造更高水平的芯片能力。
斯坦福大学研制出晶圆级CNT逻辑电路
【摘 要】
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对无规则CNT进行控制，标志着晶圆级生长、转移和集成工序正使纳米管电路走向商业化。世界一流半导体和相关技术的大学与研究机构的联盟半导体研究公司与斯坦福大学的研究人员
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2008年12期
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