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依据正入射软Ｘ射线显微成像系统对聚光的要求，论述了采用掠入射聚光镜是最佳选择。在分析聚光镜几何参数的基础上，决定了确定椭球面聚光镜的方法。在考虑材料反射特性和实际制作椭球面镜方法的同时，确定了要研制的高分辨率显微成像系统用聚光镜的结构参数。
正入射软X射线显微成像系统聚光镜设计
【摘 要】
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依据正入射软Ｘ射线显微成像系统对聚光的要求，论述了采用掠入射聚光镜是最佳选择。在分析聚光镜几何参数的基础上，决定了确定椭球面聚光镜的方法。在考虑材料反射特性和实际制作
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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1998年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金,吉林省科委青年基金
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