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正入射软X射线显微成像系统聚光镜设计
正入射软X射线显微成像系统聚光镜设计
来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:whimco1984
【摘 要】
:
依据正入射软X射线显微成像系统对聚光的要求,论述了采用掠入射聚光镜是最佳选择。在分析聚光镜几何参数的基础上,决定了确定椭球面聚光镜的方法。在考虑材料反射特性和实际制作
【作 者】
:
王占山
曹健林
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
:
强激光与粒子束
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
软X射线
显微成像系统
聚光镜
掠入射
softXray
microscopicoptics
condenser
grazingincidence
【基金项目】
:
国家自然科学基金,吉林省科委青年基金
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依据正入射软X射线显微成像系统对聚光的要求,论述了采用掠入射聚光镜是最佳选择。在分析聚光镜几何参数的基础上,决定了确定椭球面聚光镜的方法。在考虑材料反射特性和实际制作椭球面镜方法的同时,确定了要研制的高分辨率显微成像系统用聚光镜的结构参数。
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