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激光诱导硅掺硼的计算模拟钱育军，童小梅，汪永江（浙江大学物理系，杭州３１００２７）准分子激光气相诱导硅掺硼是一个很有意义的课题。它同传统的热扩散、离子注入方法相比，具有其装置较简单，操作精确方便，单光子能量高，容易控制扩散过程等优点而受到人们的重视，...
激光诱导硅掺硼的计算模拟
【摘 要】
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激光诱导硅掺硼的计算模拟钱育军，童小梅，汪永江（浙江大学物理系，杭州３１００２７）准分子激光气相诱导硅掺硼是一个很有意义的课题。它同传统的热扩散、离子注入方法相比，具有其装置较简单，操作
【机 构】
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浙江大学物理系
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1994年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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