Parylene F薄膜介电材料的制备与研穷

【作者】

：

赵宗峰鲜晓斌唐贤臣吉祥波

【机构】

：

中国工程物理研究院

【出处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

介电材料 Parylene F薄膜化学气相沉积

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通过真空化学气相沉积方法制备了Parylene F薄膜,采用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察了表面形貌,并用红外光谱(IR)、X射线光电子能谱(XPS)及热重分析仪(TGA)等分析手段对薄膜组成与性能进行了表征,阻抗分析仪测试了薄膜的介电参数.研究结果表明化学气相沉积方法制备的Parylene F薄膜是一种致密光滑、性能较优、易于成型且具有较大潜在应用前景的介电材料.

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