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[期刊论文] 作者:陈琦,王新房,丁积军, 来源:测控技术 年份:2001
单晶硅晶体生长炉具有非线性和大纯滞后的特点,应用常规PID控制难以实现有效控制。采用Fuzzy-PID复合控制模型,在Windows平台下实现了有效的控制,并给出实时控制的程序设计方法...
[期刊论文] 作者:许扬,赵一谦,李剑侠,郑伟民,田炜,丁积军, 来源:人工晶体学报 年份:2004
要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替,与此对应,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进.第四代产品研发需...
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