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[学位论文] 作者：万尚鑫,,
来源：西安理工大学 年份：2004
方块电阻是用来评价半导体材料导电性能的关键参数,通常采用接触式的四探针方法测量,对样品表面具有破坏性,不利于半导体晶片的质量控制。而传统的非接触式涡流方块电阻测量...
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