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[期刊论文] 作者：方君鹏,王谦,蔡坚,万翰林,宋昌明,郑凯,周亦康,
来源：机械工程学报 年份：2022
三维集成是后摩尔时代异质集成的关键技术路线之一,片间互连是其关键技术.传统的金属热压键合技术由于存在键合温度高和键合时间长的问题,不再适用于三维集成技术的发展需求,新型的具有低温、短时和高可靠性特点的片间互连技术受到广泛关注.提出一种基于磁控溅......
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