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[期刊论文] 作者：三村良,吴明华,
来源：微细加工技术 年份：1990
聚焦离子束(FIB:Focused Ion Beam)装置可以在亚微米级的情况下发挥离子束的各种特性,因容易实施电扫描,所以,用于微细器件的制作和分析时,它所显示的优越性是以往的装...
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