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[学位论文] 作者:于方津, 来源:桂林电子科技大学 年份:2021
芯片是集成电路的载体,在民用和军工领域有着非常广泛的应用。随着芯片性能指标的不断提高,其对检测技术的要求也越来越高。因此,研发一种高精度、快速、廉价的芯片缺陷检测设备已经成为当前热门研究的课题。在诸多技术中,融合了光学、机械、图像处理、控制等学......
[期刊论文] 作者:骆魁桢,于方津,高兴宇,, 来源:激光与光电子学进展 年份:2021
根据机器视觉物镜的复消色差和高分辨率要求,将光学系统分成四个光组。对每组的初始结构分别进行优化,再组合得到透镜组的初始结构。利用Buchdahl色散矢量分析方法对部分玻璃材料进行针对性的替换,通过多次优化最终得到了符合光学性能要求的复消色差机器视觉光学系......
[期刊论文] 作者:骆魁桢,于方津,高兴宇, 来源:激光与光电子学进展 年份:2021
根据机器视觉物镜对复消色差和高分辨率的要求,将光学系统分成四个光组,对每组初始结构分别进行优化后再组合,得到透镜组的初始结构。利用Buchdahl色散矢量分析方法对部分玻璃材料进行针对性替换,通过多次优化得到符合光学性能要求的复消色差机器视觉光学系统。......
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