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[学位论文] 作者：于秀儒,,
来源：山东师范大学 年份：2020
SiC作为第三代半导体的代表,具有优良的光电特性。SiC薄膜的宽带隙、强的非线性光学响应使其在制备微电子集成和光电子器件领域前景巨大。SiC薄膜在特定条件下会与氧气或者水蒸气反应生成SiO_xC_y薄膜。SiC薄膜作为半导体材料,其三阶光学非线性研究的较多,而使......
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