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[会议论文] 作者：苏杰,传感技术国家重点实验室,夏善红,传感技术国家重点实验室,陈绍凤,传感技术国家重点实验室,
来源：“面向新世纪中国机器人产业化发展论坛”大会 年份：2000
本文提出并研究了一种真空微电子压力传感器阵列和薄膜铂电阻温度传感器集成系统,通过计算机模拟进行了优化设计,完成了初步样品的制备....
[会议论文] 作者：苏杰,传感技术国家重点实验室,夏善红,陈绍凤,
来源：“面向新世纪中国机器人产业化发展论坛”大会 年份：2000
本文提出并研究了一种真空微电子压力传感器阵列和薄膜铂电阻温度传感器集成系统,通过计算机模拟进行了优化设计,完成了初步样品的制备....
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