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[会议论文] 作者:何伟;向秋澄;, 来源:四川省电子学会半导体与集成技术专委会2006年度学术年会 年份:2006
半导体器件内部的多余有害气氛及多余物是影响其可靠性的主要原因之一,是军用元器件质量控制的重要因素,因此在半导体器件的生产上不仅需要关注器件封装的气密性,而且需要对...
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