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[学位论文] 作者：何建澄,
来源：电子科技大学 年份：2023
微真空电子器件是一种基于真空电子器件原理,采用微电子工艺加工实现的微纳真空器件,它集成了微纳半导体器件的小型化优势,兼具传统真空电子器件速度快、抗辐射、抗干扰的能力。与传统的真空电子器件相比,微真空电子器件中的纳米真空沟道使得电子的传输距离减少......
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