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[期刊论文] 作者：何秉元,,
来源：电子工业专用设备 年份：2015
钨化学气相淀积反应会生成大量的有害副产物,这些有害气体通过尾气处理器处理去除有害成分或改变化学组成。真空排气管道和尾气处理器常常由于粉尘堵塞需要设备停机定期清理,...
[期刊论文] 作者：何秉元,,
来源：国外汽车 年份：1990
相变型液晶元件特有的螺旋结构,螺旋螺距的精确测量方法和控制技术、影响显示反差的最佳设计参数的选择及实用的防眩镜规格参数的确定,是保证相变型液晶防眩镜具有良好的无二...
[期刊论文] 作者：何秉元,,
来源：中国集成电路 年份：2014
钨化学气相淀积因为其在接触孔／通孔填充中出色的台阶覆盖能力而在半导体工业中被广泛应用，在量产中经常会出现监控片的方块电阻均匀性超规格。本文主要研究了加热器、气体输送......
[期刊论文] 作者：何秉元,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2012
随着集成电路芯片器件特征尺寸不断缩小和一些特色工艺的要求,金属薄膜淀积对反应腔真空度和残余气体的要求越来越高,尤其对于高温厚铝溅射工艺,真空反应腔微环境的细小变化...
[学位论文] 作者：何秉元,
来源： 年份：2011
在集成电路芯片制造过程中,一个重要的工序是金属薄膜淀积。随着器件特征尺寸不断缩小和一些特色工艺如功率器件的要求,金属薄膜淀积对反应腔真空度和残余气体的要求越来越高,尤其对于高温厚铝溅射工艺,反应腔微环境的细小变化可能导致器件失效。在实际生产中当......
[期刊论文] 作者：何秉元,夏安宁,
来源：决策 年份：1995
今年初,安徽省第六次党代会上提出到2000年城市人口达35％,2010年达45％的战略目标,不论与世界城市化发展进程比,还是与我国沿海发达地区相比,这个目标都不算高,但是作为一个农业...
[期刊论文] 作者：何秉元,夏安宁,
来源：安徽软科学研究 年份：1996
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[期刊论文] 作者：何秉元,夏安宁,
来源：安徽软科学研究 年份：1995
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