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[期刊论文] 作者：王金,刘林,余虹呈,周云山,,
来源：云南化工 年份：2015
在多晶硅生产中,应用填料式氯硅烷冷凝储存设备对含氯硅烷的尾气进行回收。该冷凝储存设备可以起到一定的除杂作用,提高冷媒冷量的利用率,降低设备的制造成本,最终降低尾气中...
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