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[期刊论文] 作者：张涤新,吕时良,李旺奎,刘强,余锡盘,
来源：真空 年份：1995
本文介绍恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了误差分析与实验结果．流量测量范围为３．４９～１．９７×１０５Ｐａ１／ｓ，不确定度≤２．２５％。该微流量计已用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。......
[期刊论文] 作者：李旺奎,张涤新,刘强,吕时良,李得天,孟扬,余锡盘,
来源：宇航计测技术 年份：1995
介绍了气体微流量标准装置的工作原理，并对其测量不确定度进行了分析与验证。测试结果表明：流量的校准范围为１７．１～１．２２×１０￣（－５）ＰａＬ／ｓ，不确定度为２％。The working principle of gas micro-flow standa......
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