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[学位论文] 作者:佟有万, 来源:中国科学院大学 年份:2015
由于光学检测方法有着非常高的灵敏度和分辨率,因此其在高精度测量,加工中有着非常广泛的应用。本论文的工作主要围绕多参量调制的高灵敏度光学检测方法这一领域展开,主要研究了......
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