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[会议论文] 作者:俞世吉, 来源:2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议 年份:2004
本文主要介绍利用发射光谱对感应耦合等离子体增强化学气相沉积,类金刚石膜过程中的各种基团进行分析,并对不同条件下薄膜硬度和沉积速率进行测试....
[会议论文] 作者:俞世吉, 来源:'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议 年份:2001
本文采用感应耦合等离子体源(ICPS)成功地实现化学气相沉积硬质类金刚石(DLC)膜,并考察了基片负偏压对类金刚石膜沉积过程和薄膜性质的影响.薄膜的微观形貌、显微硬度、沉积...
[期刊论文] 作者:翟亮,俞世吉,, 来源:科学技术与工程 年份:2011
运用实验和ANSYS软件仿真相结合的方法,对阴极-热子组件内侧热屏开槽后整个组件的温度和热流进行了研究。结果表明:在内侧热屏上适当的开槽可以改善阴极-热子组件的热学性能,...
[期刊论文] 作者:刘东平,俞世吉, 来源:大连理工大学学报 年份:2000
利用完全抑制网络结构对氢化非晶碳膜组成进行模拟计算,得出了形成a-C:H条件是H、sp2C和sp^3C在三元相图中须在一个三角形区域内、大量实验数据证明,模拟结果与实验结果相当吻合。当两种组成确......
[期刊论文] 作者:俞世吉,马腾才, 来源:核技术 年份:2003
采用感应耦合等离子体源(ICPS)成功地实现化学气相沉积硬质类金刚石(DLC)膜,并考察了基片负偏压对类金刚石膜沉积过程和薄膜性质的影响。薄膜的微观形貌、显微硬度、沉积速率...
[期刊论文] 作者:刘东平,俞世吉, 来源:材料研究学报 年份:2000
利用完全抑制网络结构(FCN)模拟计算氢化非晶碳(a-C:H)膜的组成。形成致密a-C:H膜的条件是H、sp^2C和sp^3C应在其三元相图中的一个三角形区域内。实验数据表明,模拟结果与实验结果吻合得很好。在a-C:H中存在氢、......
[会议论文] 作者:俞世吉,马腾才, 来源:中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议 年份:2002
采用感应耦合等离子体增强化学气相沉积(ICPECVD)成功地制备了硬质类金刚石薄膜.对沉积获得的类金刚石膜进行努氏显微硬度测量及傅立叶转换红外光谱(FTIR)和喇曼谱(Raman)测试、扫描电子显微镜(SEM)以及原子力显微镜(AFM)观察与分析.分析结果表明射频功率对类金......
[期刊论文] 作者:俞世吉,丁振峰, 来源:真空与低温 年份:1999
综述了金刚石,类金刚石碳,立方氮化硼以及碳-氮超硬涂层的一些新的研究进展,并着重对4种超硬涂层的制备研究介绍。...
[期刊论文] 作者:俞世吉,邬钦崇, 来源:真空与低温 年份:1998
利用石英钟罩式波等离子体化学气相沉积(MW-PCVD)实验装置研究了不同沉积气压对金刚石薄膜沉积结果的影响,扫描电子显微镜(SEM)显微形貌观察及喇曼光谱(RAMAN)分析表明沉积气压的提高有利于改善MW-PCVD制备......
[期刊论文] 作者:俞世吉,邬钦崇, 来源:真空科学与技术 年份:2000
在石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积实验装置中研究了基片位置对金刚石薄膜沉积质量的影响。扫描电子显微镜显微形貌观察和激光喇曼谱分析表明,对微波等离子体化学气相沉积......
[期刊论文] 作者:俞世吉,邬钦崇, 来源:真空科学与技术 年份:1998
利用自行研制的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置,研究了硅基片的不同预处理方式对沉积结果的影响。通过扫描电子显微镜形貌观察和喇曼谱分析表明,基片预处理......
[期刊论文] 作者:俞世吉,邬钦崇, 来源:新技术新工艺 年份:1998
利用自行研制的新型石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置进行轩金刚石薄膜的实验研究。用扫描电子显微镜(SEM)对形貌观察和喇曼谱测试表明,由此装置可以面积较大、晶体良好、杂......
[期刊论文] 作者:俞世吉,邬钦崇, 来源:新技术新工艺 年份:2000
利用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)实验装置,研究了硅基体表面沉积金刚石薄膜时纳米碳管对金刚石形核过程的影响。扫描电子显微镜(SEM)形貌分析结果显示,纳米碳管处理能够促进......
[期刊论文] 作者:刘东平,俞世吉,马腾才, 来源:大连理工大学学报 年份:2000
利用完全抑制网络结构 ( FCN)对氢化非晶碳膜 ( a-C:H)组成进行模拟计算 ,得出形成 a-C:H条件是 H、sp2 C和 sp3C在其三元相图中须在一个三角形区域内 .大量实验数据证明 ,模...
[期刊论文] 作者:刘东平,俞世吉,马腾才, 来源:材料研究学报 年份:2000
利用完全抑制网络结构(FCN)模拟计算氢化非晶碳(a-C:H)膜的组成.形成致密 a-C:H膜的条件是 H、sp2C和sp3C应在其三元相图中的一个三角形区域内.实验数据表明,模拟结果与实验结果吻合得很好.在 a-C:H中存在氢、四......
[期刊论文] 作者:俞世吉,丁振峰,马腾才,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2000
[会议论文] 作者:张明晨,张洪来,俞世吉, 来源:中国真空学会2012学术交流会 年份:2012
  为了适应空间(卫星)行波管对热阴极长寿命的发展要求.本论文研究了一种新型储存式浸渍钡钨阴极.这种新型的浸渍阴极具有较高的电流发射密度和较长的寿命.我们对这种新型...
[会议论文] 作者:俞世吉,丁振峰,马腾才, 来源:2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议 年份:2006
在感应耦合等离子体增强化学气相沉积(ICPECVD)制备硬质类金刚石膜过程中采取CH4-O2和CH4-Ar两种不同的沉积气体体系,研究其对类金刚石膜沉积过程和薄膜性质的影响.分别对沉...
[期刊论文] 作者:孙亚兵,王守国,俞世吉, 来源:真空与低温 年份:1997
根据潘宁放电机理,导出溅射离子泵抽速的理论公式。讨论了抽速对各种放电参数的依赖关系。计算了离子泵对N2和CO的抽速。计算结果和实验测试以及经验公式的结果有较好的符合。Ac......
[期刊论文] 作者:俞世吉,邬钦崇,隋毅峰, 来源:真空科学与技术 年份:1998
利用自行研制的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置,研究了硅基片的不同预处理方式对沉积结果的影响。通过扫描电子显微镜形貌观察和喇曼谱分析表明,基片预处理......
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