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[学位论文] 作者：俞乃霖,,
来源： 年份：2013
聚酰亚胺材料被应用于微电子领域已有约30年的历史，由于其优异的化学性能被应用于芯片表面的钝化层等。本文主要研究了聚酰亚胺材料在光刻制造工艺中的工艺建立和工艺问题的解......
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