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[期刊论文] 作者：关炎芳,张国贤,俞正寅,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2010
以硅作为基底材料,采用深反应离子刻蚀（DRIE）技术加工出含有新型锯齿流道和传统锥形管的微泵,整个微泵结构为聚二甲基硅氧烷（PDMS）-玻璃-硅-PDMS式.采用阳极键合方法对硅和玻璃之......
[期刊论文] 作者：关炎芳,张国贤,俞正寅,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2010
以硅作为基底材料,采用深反应离子刻蚀(DRIE)技术加工出含有新型锯齿流道和传统锥形管的微泵,整个微泵结构为聚二甲基硅氧烷(PDMS)-玻璃-硅-PDMS式.采用阳极键合方法对硅和玻...
[期刊论文] 作者：关炎芳,韩莉莉,刘春波,俞正寅,,
来源：工程力学 年份：2013
为了模拟微泵实际工作过程,需要找出微泵运动的控制方程。该文从压电振子作用力F及液体反作用力P入手,给出微泵压电-应力-流体多物理场耦合的控制方程组,根据控制方程模拟微...
[期刊论文] 作者：关炎芳,刘春波,张士雄,俞正寅,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2012
通过对新型锯齿型和传统扩张/收缩型两种微流道内部流场数值分析结果进行比较,得出微流道内流动状态随雷诺数的变化情况以及漩涡产生原因;锯齿型微流道由于侧面齿形角的存在,...
[期刊论文] 作者：陆松涛,俞正寅,庞洁,沈时强,杨恒,,
来源：微细加工技术 年份：2008
研究了一种准LIGA加工工艺。该工艺利用无氰电铸制作金结构层，采用PECVD制作的无定形硅作为牺牲层，利用二氟化氙（XeF2）干法腐蚀对材料选择性好的特点，采用先部分封装然后腐蚀牺牲......
[期刊论文] 作者：游文斌, 冯飞, 俞正寅, 戈肖鸿, 刘明, 李昕欣,,
来源：传感器与微系统 年份：2017
作为微型气相色谱仪（Micro GC）的关键部件的微型热导检测器（Micro TCD）,其噪声主要来自于温度波动和气流抖动等因素。从理论上分析了Micro TCD噪声的主要来源,使用COMSOL仿真得到...
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