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[期刊论文] 作者：王静,修利强,任沁,
来源：中国新技术新产品 年份：2018
本课题针对清洗生产线的硅片搬运提供了机器人解决方案,工业机器人替代人工搬运方式,将整个搬运过程做成一个相对封闭的单元空间。采用机械手抓举提升放置系统为全自动控制,...
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