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[期刊论文] 作者：刘馨泽,匡尚奇,刁金玉,林景全,
来源：应用物理 年份：2021
为了确保基于Schwarzschild结构的极紫外光刻掩模缺陷检测系统的成像质量,本文应用等效工作面法对其进行了优化设计。将传统光学设计方法得到的Schwarzschild放大系统的优化...
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