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[期刊论文] 作者：王亮,赵永梅,宁瑾,孙国胜,王雷,刘兴坊,赵万顺,曾一平,李,
来源：半导体学报 年份：2008
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材料参数对器件性能的影响.制作了三种不同悬臂...
[期刊论文] 作者：王亮,赵永梅,宁瑾,孙国胜,王雷,刘兴坊,赵万顺,曾一平,李,
来源：半导体学报 年份：2004
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材料参数对器件性能的影响.制作了三种不同悬臂...
[期刊论文] 作者：王亮,赵永梅,宁瑾,孙国胜,王雷,刘兴坊,赵万顺,曾一平,李晋闽,,
来源：半导体学报 年份：2008
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材料参数对器件性能的影响.制作了三种不同悬臂...
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