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[学位论文] 作者：刘德泳,
来源：大连理工大学 年份：2002
带电的尘埃粒子广泛存在于宇宙空间、实验室的等离子体装置中和材料的等离子体加工等环境中.近年来,特别是在人们认识到尘埃粒子是影响半导体集成电路加工质量的关键问题后,...
[期刊论文] 作者：刘德泳,王德真,刘金远,
来源：第九届全国等离子体科学技术会议 年份：1999
该文研究尘埃粒子在直流辉光放电阴极鞘层中的运动特性及悬浮位置。比较无碰撞鞘层和碰撞鞘层发现，尘埃粒子在碰撞鞘层中的悬浮位置更加靠近极板；比较下鞘（阴极板放在下方时的鞘......
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