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[期刊论文] 作者：陈险峰,任维佳,刘惟芳,李晓明,,
来源：空间碎片研究 年份：2020
随着商业航天的蓬勃发展,近几年进入轨道的卫星,特别是低轨小卫星,已呈爆发式增长。按照国防科工局《空间碎片减缓与防护管理办法》等文件要求,低轨卫星应具备主动离轨能力。为此,我们对小卫星的各种离轨手段的技术复杂性、成本、离轨能力等进行了比较及评估,并......
[期刊论文] 作者：冯丽爽,刘惟芳,姚保寅,,
来源：导航与控制 年份：2015
静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键,其引入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响。对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性进行分析。首...
[期刊论文] 作者：冯丽爽,姚保寅,刘惟芳,王潇,
来源：强激光与粒子束 年份：2015
介绍了一种以微米衍射光栅为敏感元件的微机电加速度计敏感头的加工和性能。硅质量块底部加工有铝反射膜,透明玻璃基底上制作有金微米光栅,中间为空气腔,经硅玻璃阳极键合,构...
[期刊论文] 作者：冯丽爽,姚保寅,刘惟芳,王潇,
来源：强激光与粒子束 年份：2015
介绍了一种以微米衍射光栅为敏感元件的微机电加速度计敏感头的加工和性能.硅质量块底部加工有铝反射膜,透明玻璃基底上制作有金微米光栅,中间为空气腔,经硅玻璃阳极键合,构...
[会议论文] 作者：刘惟芳;冯丽爽;姚保寅;王潇;,
来源：2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 年份：2013
光学灵敏度分析对微米光栅加速度计整体精度的提高至关重要.本文以标量衍射理论为基础,针对影响微米光栅加速度计光学灵敏度的参数进行了分析和优化.首先,分析了光栅与反射面...
[会议论文] 作者：冯丽爽;王潇;姚保寅;刘惟芳;,
来源：2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 年份：2013
针对硅微光学加速度计器件的设计,给出了一种微米光栅加速度计的结构及光学检测原理.通过设计检测方法,抑制了电路噪声和共模误差,提高了检测光信号的能力.实现了微米光栅加...
[会议论文] 作者：冯丽爽[1]刘惟芳[2]姚保寅;,
来源：第十三届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2014
静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键,其引入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响.本文对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性进行分析....
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