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[学位论文] 作者：刘熠新,
来源：厦门大学 年份：2019
随着航空发动机性能的日益提高,对其内部压力进行检测和实时监控成为了人们研究的重点。但由于结构和材料的限制,传统的压力传感器无法在发动机内部高温、高压环境下工作。最近一种基于微波谐振腔的压力传感器因其具有无线无源的结构以及高温下信号传输距离远等......
[期刊论文] 作者：侯想,刘熠新,钟梦洁,林赛,刘杨,罗荣煌,罗学涛,张飒,
来源：中国机械工程 年份：2021
为了缩短刻蚀时间以及提高发光二极管(LEDs)的发光性能,针对添加刻蚀辅助气体三氟甲烷(CHF3)的干法刻蚀工艺进行了研究.采用感应耦合等离子(ICP)干法刻蚀技术并通过正交试验研究了偏压功率、CHF3流量、自动压力控制蝶阀开合度(APC)对刻蚀速率和选择比的影响.试......
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