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[学位论文] 作者:刘钧锴, 来源:北京工业大学 年份:2006
立方氮化硼(cBN)具有优异的物理化学性质,如仅次于金刚石的硬度、高温下强的抗氧化能力、不易与铁族金属反应、可n型掺杂也可p型掺杂成为半导体等,立方氮化硼(cBN)薄膜在切削...
[会议论文] 作者:刘卫强,岳明,刘钧锴,张久兴, 来源:第十一届全国磁学和磁性材料会议 年份:2002
本文系统地研究了采用放电等离子烧结技术制备TbFeCo磁光靶材的工艺过程,其中重点考查了烧结温度对材料组织均匀性和致密度的影响.并利用了扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料...
[期刊论文] 作者:陈浩,邓金祥,陈光华,刘钧锴,田凌,, 来源:半导体学报 年份:2005
用射频溅射设备,采用两步法制备了宽带隙立方氮化硼(c-BN)薄膜.研究了在其他条件不变的情况下,成核阶段衬底温度对制备c-BN薄膜的影响.c-BN薄膜沉积在p型Si(100)衬底上,薄膜成分由傅里......
[期刊论文] 作者:刘钧锴,邓金祥,陈浩,田凌,陈光华, 来源:真空科学与技术学报 年份:2006
用常规射频(RF)溅射系统,采用三步法在p型Si(111)上高重复率地制备出高品质的立方氮化硼(c-BN)薄膜.通过对c-BN薄膜生长过程的分析,找出了传统两步法制备高品质的c-BN薄膜重...
[期刊论文] 作者:陈浩,邓金祥,陈光华,刘钧锴,田凌, 来源:真空科学与技术学报 年份:2006
用射频溅射系统制备了BN薄膜,并且用离子注入的方法在BN薄膜中注入S,从而成功制备了n-BN/p-Si薄膜异质结,并研究了异质结的电学性质.注入S的BN薄膜是用13.56 MHz射频溅射系统...
[期刊论文] 作者:陈光华,朱秀红,邓金祥,刘钧锴,陈浩, 来源:物理 年份:2004
文章着重介绍了最近研制出的高质量宽带隙立方氮化硼薄膜的三种制备方法和结构特性:(1)用射频溅射法在Si衬底上制备出立方相含量在90%以上,Eg>6.0eV的c-BN薄膜;(2)用离子束辅...
[期刊论文] 作者:岳明,刘卫强,刘燕琴,刘钧锴,张久兴, 来源:稀有金属 年份:2003
研究了采用放电等离子烧结技术制备TbFeCo磁光靶材的工艺过程, 考察了烧结温度对材料组织均匀性和致密度的影响. 利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分...
[期刊论文] 作者:陈浩,邓金祥,刘钧锴,周涛,张岩,陈光华,, 来源:物理学报 年份:2007
从能量和结构两个角度分析了BN四种相的转变过程,以及杂质和缺陷对立方氮化硼(c-BN)薄膜制备的影响.研究了从六角氮化硼(h-BN)到c-BN转变的一个可能的过程,即h-BN→菱形氮化...
[期刊论文] 作者:刘钧锴,邓金祥,陈浩,田凌,陈光华,LiuJunkai,De, 来源:真空科学与技术学报 年份:2006
[期刊论文] 作者:陈浩,邓金祥,陈光华,刘钧锴,田凌,ChenHao,Deng, 来源:真空科学与技术学报 年份:2006
[期刊论文] 作者:田凌,丁毅,陈浩,刘钧锴,邓金祥,贺德衍,陈光华,, 来源:物理学报 年份:2006
利用射频溅射方法在n型Si(111)衬底上制备出立方相含量接近100%且粘附性较高的立方氮化硼(c-BN)薄膜.傅里叶变换红外谱(FTIR)的结果表明,基底负偏压对薄膜立方相含量和薄膜压...
[期刊论文] 作者:邓金祥,陈浩,刘钧锴,田凌,张岩,周涛,何斌,陈光华,王波,, 来源:半导体学报 年份:2006
通常人们对氮化硼薄膜的S掺杂,采用的是在氮化硼制备过程中就地掺杂的方法,文中则采用S离子注入方法.氮化硼薄膜用射频溅射法制得.实验结果表明,在氮化硼薄膜中注入S,可以实...
[期刊论文] 作者:邓金祥,陈浩,陈光华,刘钧锴,宋雪梅,朱秀红,王波,严辉, 来源:功能材料 年份:2004
研究立方氮化硼薄膜表面的性质对于研究立方氮化硼薄膜的成核机理和应用,具有重要的价值.本文用XPS对立方氮化硼薄膜表面进行研究,并对有关问题进行了讨论.XPS分析表明,立方...
[期刊论文] 作者:邓金祥,陈浩,刘钧锴,田凌,张岩,周涛,何斌,陈光华,王波,, 来源:半导体学报 年份:2004
通常人们对氮化硼薄膜的S掺杂,采用的是在氮化硼制备过程中就地掺杂的方法,文中则采用S离子注入方法.氮化硼薄膜用射频溅射法制得.实验结果表明,在氮化硼薄膜中注入S,可以实...
[期刊论文] 作者:邓金祥,陈浩,陈光华,刘钧锴,宋雪梅,朱秀红,王波,严辉,DENGJin-xiang,CHENHao,CHENGuang-hua,LIUJun-kai,SONGXue-mei,ZHUXiu-hong,WANGBo, 来源:城市道桥与防洪 年份:2004
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者:邓金祥,陈浩,刘钧锴,田凌,张岩,周涛,何斌,陈光华,王波,严辉,DengJinxiang,ChenHao,LiuJunkai,TianLing,ZhangYan,ZhouTao,HeBin,ChenGuanghua, 来源:城市道桥与防洪 年份:2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
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