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[期刊论文] 作者：刘智荣,谢立强,朱敏,包文歧,
来源：压电与声光 年份：2020
该文介绍了声表面波(SAW)在压电薄膜中传播时静电场的影响机理。首先给出了静电场作用下压电薄膜中的初始应力和初始电位移,然后通过求解含有初始应力和初始电位移的压电介质...
[期刊论文] 作者：朱敏,刘智荣,包文歧,徐才华,谢立强,
来源：传感技术学报 年份：2021
以IDT/(002)ZnO/SiO2/Si多层结构的声表面波器件为研究对象,通过有限元软件对单对叉指的三维结构进行有限元仿真,得到了不同的ZnO膜厚对SAW器件所激发瑞利波的相速度、机电耦合系数的影响规律,以及SiO2膜厚与SAW器件频率温度系数之间的关系.采用热氧化、射频磁......
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