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[期刊论文] 作者:北京中科信电子装备有限公司,, 来源:中国集成电路 年份:2007
1、产品及其简介rnM5525 100-1/UM型大角度离子注入机可满足100纳米,8英寸集成电路制造工艺的要求,适合源漏区的大角度晕、袋、栅阈值调整、阱等注入,可获得良好的注入均匀性...
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