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[期刊论文] 作者：卓青霞 卓鸿俊,
来源：现代信息科技 年份：2021
摘要：针对金纳米圆盘，提出一种新的阵列结构，并采用时域有限元方法研究了该结构的反射谱、电场分布及折射率传感特性。该结构的反射谱存在两个谷值，研究了其结构参数和周围环境介质对反射谱的影响及其折射率和吸附物厚度的变化响应特性，折射率灵敏度达到575 nm/RIU，品......
[期刊论文] 作者：朱晶, 卓鸿俊, 朱立群,
来源：中国表面工程 年份：2022
集成电路制造也称芯片制造，在整个工业产业链中越来越重要，而电化学沉积（电镀）等表面技术起到非常关键的作用。介绍芯片制造中用到的电化学沉积、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、抛光等表面技术的基本情况和特点，探讨铜互连电镀、化学机械抛光（CMP）、硅通孔（TSV）垂直......
[期刊论文] 作者：朱晶, 卓鸿俊, 张志宏,,
来源：中国集成电路 年份：2017
集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业,当前和今后一段时期是我国集成电路产业发展的重要战略机遇期和攻坚期。...
[期刊论文] 作者：朱晶,卓鸿俊,张志宏,
来源：中国集成电路 年份：2021
“十四五”时期是北京落实首都城市战略定位、推进以科技创新为核心的全面创新,加快建设全球数字经济标杆城市的关键时期。北京集成电路产业在对国家科技创新服务,以及北京数...
[期刊论文] 作者：朱晶,卓鸿俊,张志宏,史弘琳,
来源：中国集成电路 年份：2020
当前,我国集成电路产业面临着全新的外部形势,北京和上海等重要集成电路产业重镇势必将承担更多的战略使命。而国内各地方政府对于集成电路产业的“一拥而上”,也让北京和上...
[期刊论文] 作者：朱晶,卓鸿俊,张志宏,史弘琳,
来源：中国集成电路 年份：2019
集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。自2014年国务院发布《国家集成电路产业发展推进纲要》来,全国发展集成...
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