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[学位论文] 作者:司新路,, 来源:北京理工大学 年份:2018
高密度等离子体源是材料处理、电磁防护、等离子体隐身等众多应用领域的共同需求。空心阴极放电(Hollow cathode discharge,HCD)是产生高密度等离子体的手段之一,具有独特的空...
[期刊论文] 作者:司新路,何锋,王春晓,欧阳吉庭,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2017
在氩气环境下对射频驱动下空心阴极的放电特性进行了实验研究,得到了不同工作条件下射频空心阴极放电中的电子密度、电子能量几率分布函数等结果.研究结果表明,相比于平板电...
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