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[学位论文] 作者:吕博嘉,, 来源:大连理工大学 年份:2008
本文以HWCVD法制备微晶硅薄膜为主要研究内容,利用X射线衍射谱、透射光谱、扫描电子显微镜、霍尔效应、伏安特性曲线和阻抗谱曲线对样品进行深入细致地分析,讨论工艺参数对微...
[期刊论文] 作者:吕博嘉,刘艳红,刘东平,刘爱民,刘韶华,马腾才,, 来源:真空 年份:2008
采用热丝化学气相沉积技术制备微晶硅薄膜,利用X射线衍射谱、Raman散射谱、透射光谱和扫描电子显微镜等检测手段,系统地研究沉积过程中沉积气压对微晶硅薄膜晶粒尺寸、晶态比...
[会议论文] 作者:刘伟,吕博嘉,魏山山,方永学,陈文杰,张晶思,钟辉,李雄平,曾莹,张世晓,赵奇峰, 来源:2010中国平板显示学术会议 年份:2010
本文主要介绍了4.5代TFT-LCD的生产线对于量产用PI材料的评估方法。通过对不同PI材料和Rubbing工艺的验证,对四种PI材料的耐磨擦性能、预倾角的安定性能、各种显示测试,以及残影等的性能进行了综合评估。......
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