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[期刊论文] 作者:金曾孙,吕宪义, 来源:人工晶体学报 年份:1990
本文采用热灯丝化学气相沉积法,以甲烷和氢气为原料气体,在用高温高压法合成的金刚石的(100)面上外延生长出金刚石,在(110)面和(111)面上生长出多晶金刚石微粒。更多还原...
[期刊论文] 作者:金曾孙,吕宪义, 来源:吉林大学自然科学学报 年份:1990
本文研究了用热灯丝化学气相沉积方法在硅、钼和碳化钨衬底上制备的金刚石膜的光致发光特性。更多还原...
[期刊论文] 作者:金曾孙,吕宪义, 来源:高技术通讯 年份:1994
用热灯丝CVD方法在C-BN单晶衬底上制备出金刚石膜,并且在C-BN(100)面上观察到金刚石的异质外延。...
[期刊论文] 作者:金曾孙,吕宪义, 来源:高技术通讯 年份:1994
用电子增强热灯丝CVD(化学汽相沉积)方法制备出膜厚为0.1-2mm的金刚石厚膜,研究了金刚石厚膜的耐磨性和热导特性,用它制作了金刚石膜焊接刀具和半导体激光器用金刚石膜热沉。更多还原......
[期刊论文] 作者:金曾孙,吕宪义, 来源:高压物理学报 年份:1994
用热灯丝CVD方法在多晶石墨衬底表面制备CVD金刚石颗粒,并用这种石墨在高温高压条件下采用六面顶压机合成出高压金刚石。初步实验结果表明:采用其表面生长CVD金刚石颗粒的石墨合成高压金......
[期刊论文] 作者:金曾孙,吕宪义, 来源:科学通报 年份:1989
金刚石不仅是最好的超硬耐磨材料,而且是一种新型的功能薄膜材料,具有优异的电学,光学、热学和力学性质。 1976年Derjaguin等用化学输运反应方法在非金刚石基板上首先合...
[期刊论文] 作者:白亦真,吕宪义, 来源:吉林大学自然科学学报 年份:1995
建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统,并对该系统的工作性能进行了研究。...
[期刊论文] 作者:白亦真,吕宪义, 来源:吉林大学自然科学学报 年份:1992
本文设计了用直流电弧等离子体喷射法快速生长金刚石薄膜的装置,并对其工作性能进行了研究。更多还原...
[期刊论文] 作者:吕宪义,金曾孙,杨广亮, 来源:新型炭材料 年份:2005
根据金刚石厚膜的实际应用要求,建立了EA-CVD(Electron Assisted Chemical Vapor Deposition)方法,制备出直径为80 mm,膜厚为1 mm以上的大尺寸高品质的均匀金刚石厚膜,其膜厚...
[期刊论文] 作者:金曾孙,吕宪义,邹广田, 来源:高技术通讯 年份:1994
用热灯丝CVD方法在C-BN单晶衬底上制备出金刚石膜,并且在C-BN(100)面上观察到金刚石的异质外延。Diamond films were prepared on a C-BN single crystal substrate by a hot filament CVD m......
[期刊论文] 作者:李春燕,金曾孙,吕宪义, 来源:功能材料 年份:2004
采用EA-CVD(Electron Assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备金刚石厚膜,在反应气体(CH4+H2)中添加乙醇,在保持其它条件不变的情况下研究了不同乙醇流量对金刚石膜生...
[期刊论文] 作者:杨广亮,王立秋,吕宪义,金曾孙, 来源:高等学校化学学报 年份:2002
研究了电子辅助热灯丝法生长金刚石厚膜过程中氢气流量对沉积速度和膜品质的影响. 随氢气流量从100增加到750 cm3/min, 金刚石膜的沉积速率单调上升, 但金刚石膜品质不断下降...
[期刊论文] 作者:邹广田,于三,金曾孙,吕宪义,, 来源:功能材料 年份:1991
本文报导了利用灯丝热解CVD方法在单晶硅衬底表面气相合成硼掺杂p-型金刚石薄膜的方法和结果,并对其晶体结构、半导体性质及发光特性进行了较为系统的研究。In this paper,...
[期刊论文] 作者:于三,邹广田,金曾孙,吕宪义, 来源:人工晶体学报 年份:1991
本文利用灯丝热解CVD方法以甲烷和氢气为原料气体在单晶硅衬底表面实现了p型硼掺杂半导体金刚石薄膜的气相合成。掺杂剂采用固态单质硼,通过金刚石合成过程中硼的热分解使反...
[期刊论文] 作者:于三,金曾孙,吕宪义,邹广田, 来源:科学通报 年份:1992
自从Setaka等人利用CVD方法在硅等非金刚石衬底上合成出具有清晰结晶晶面的金刚石晶体及多晶金刚石薄膜以来,金刚石的合成技术在近几年取得了迅速的发展。同时,气相生长金刚...
[期刊论文] 作者:于三,金曾孙,吕宪义,邹广田, 来源:科学通报 年份:1991
一、引言 金刚石薄膜作为一种新型多功能材料,其制备和应用研究在近几年内取得了飞速的发展.目前,用各种化学气相沉积方法(CVD)合成的金刚石薄膜在一些领域内已取得了初步的...
[期刊论文] 作者:金曾孙,吕宪义,皇甫萍,邹广田, 来源:真空 年份:1990
本文采用热解化学气相沉积方法,以甲烷和氢气为原料气体,在刀具材料──硬质 合金、金刚石烧结体和立方氮化硼烧结体表面形成了金刚石薄膜,而且研究了金刚石在 上述材料表面上的......
[期刊论文] 作者:金曾孙,吕宪义,皇甫萍,邹广田, 来源:真空 年份:1989
本文采用热解化学气相沉积方法,以甲烷和氢的混合气体为原料,在单晶硅和锗、 铜、钼、石英玻璃、碳化钨和石墨基板上合成金刚石薄膜,而且在单晶硅基板上合成出其面积大于20×20mm2的比......
[期刊论文] 作者:李明吉,吕宪义,孙宝茹,金曾孙, 来源:功能材料 年份:2004
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜,研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌和膜品质的影响.实验发现,在较低的氮气流量下,金刚石膜的生长速...
[期刊论文] 作者:白亦真,吕宪义,金曾孙,邹广田, 来源:吉林大学自然科学学报 年份:1991
本文研究了用直流电弧等离子体喷射法快速沉积的金刚石薄膜的生长特性,并与用热解CVD法沉积的金刚石薄膜生长特性做了比较。更多还原...
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