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[会议论文] 作者：林明通,陈涛,张羿,刘红君,周团团,楼均辉,陈晨曦,吕耀安,肖田,
来源：2008中国平板显示学术会议 年份：2008
ZrO2薄膜是最早受到关注的无机EL绝缘薄膜之一.采用脉冲反应溅射法及O2含量为9-80％范围内制备了厚度为280-450nm的ZrO2薄膜,用MIM结构研究了薄膜的介电性能.结果是,ZrO2薄膜的击穿场强、反映介电损耗的参数△Vy、品质因子随着O2/(Ar+O2)比的增大而增加,漏电流密......
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