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[期刊论文] 作者：吴佐飞,,
来源：民营科技 年份：2014
随着我国农业逐渐的走向了现代化,在生产和管理的过程中也逐渐的认识到了资源节约和绿色环保的重要性,这种情况下有关部门开始重视对农业节水问题以及节水农业进行研究,以期...
[期刊论文] 作者：吴佐飞,
来源：黑龙江科学 年份：2015
节水灌溉技术可以有效地提高水资源的利用效率。随着世界水资源的短缺，节约用水已经成为全世界发展的共识。积极有效地开展节水灌溉技术，需要我们具体的规划，细化节水灌溉技术的......
[期刊论文] 作者：吴佐飞,
来源：贵金属地质 年份：1992
萨尔托海1号金矿床位于新疆西准噶尔金矿带的东端,该矿床金矿体的产出与超基性岩体接触带上的碳酸盐蚀变体密切相关。1 区域地质概况 萨尔托海1号金矿床地处准噶尔盆地...
[期刊论文] 作者：吴佐飞,,
来源：黑龙江科技信息 年份：2014
我国是农业大国，所以农业生产过程中的资源和能源消耗也是非常可观的，如果处理好农业用水的管理，实现高效用水，就可以有效的节约水源，实现能源的节约，有利于可持续发展。......
[期刊论文] 作者：郭玉刚,吴佐飞,田雷,
来源：传感器与微系统 年份：2019
针对单晶硅(100)晶面在氢氧化钾(KOH)腐蚀液中各向异性腐蚀时的削角问题,进行了一项凸角补偿实验。通过不同尺寸与形状组合的〈110〉条形补偿结构,对长方形凸台进行补偿,最终...
[期刊论文] 作者：田雷,尹延昭,苗欣,吴佐飞,,
来源：半导体技术 年份：2014
研究的压力敏感芯片利用单晶硅的压阻效应原理制成;采用绝缘层上硅(SOI)材料取消了敏感电阻之间的pn结,有效减小了漏电,提高了传感器的稳定性;用多层复合电极替代传统的铝电...
[期刊论文] 作者：李玉玲, 王明伟, 张林超, 吴佐飞,,
来源：传感器与微系统 年份：2018
绝缘体上硅（SOI）压力传感器通常采用阳极键合实现圆片级气密封装,硅片和硼硅玻璃片通过阳极键合技术在360℃左右形成可靠的结合。硅片和硼硅玻璃片的热膨胀系数不能完全匹配,降......
[期刊论文] 作者：吴佐飞, 尹延昭, 田雷, 王永刚,,
来源：传感器与微系统 年份：2018
基于压阻效应和惠斯通电桥原理,设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的设计、敏感电阻条的确定以及敏感电阻器位置...
[期刊论文] 作者：姚东媛,谢胜秋,王俊巍,吴佐飞,,
来源：传感器与微系统 年份：2017
介绍了硅—蓝宝石压力传感器的钛合金—蓝宝石复合弹性膜片在宽温区工作时温度变化材料不匹配引起的结构热应力,对弹性膜片的受热情况进行了分析,对不同结构形式传感器热稳定...
[期刊论文] 作者：郭玉刚, 饶浩, 陶茂军, 田雷, 吴佐飞,,
来源：传感器与微系统 年份：2018
研制了一种基于微机电系统(MEMS)技术的压阻式绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器芯片。压力敏感电阻器与衬底之间采用二氧化硅介质隔离,解决了传统的PN结隔离方式在高温条件下的...
[期刊论文] 作者：齐虹, 丁文波, 张松, 张林超, 田雷, 吴佐飞,,
来源：传感器与微系统 年份：2019
针对绝缘体上硅(SOI)异质异构结构特点,提出了两次对准和两次阳极键合工艺方法,实现了圆片级SOI高温压力传感器硅敏感芯片的叠层键合。采用玻璃—硅—玻璃三层结构的SOI压力...
[期刊论文] 作者：吴佐飞,齐虹,张岩,尚瑛琦,刘嘉铭,岳宏,
来源：传感器与微系统 年份：2022
针对微机电系统(MEMS)绝缘体上硅(SOI)压力敏感芯片电阻条刻蚀过程中易损伤的问题,对敏感电阻条的刻蚀工艺进行优化设计,通过调整平板功率、气体流量比例等参数,最终找出最优的工艺参数,减少等离子体对敏感电阻条的侧向损伤,从而提高SOI压力敏感芯片的稳定性.......
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